一种钽电容器用钽壳内壁Ruo2薄膜的制备方法

　　成果名称:一种钽电容器用钽壳内壁Ruo2薄膜的制备方法
　　成果拥有单位:中南大学
　　成果简介:
　　本发明提供了一种钽电容器用钽壳内壁RuO2薄膜的制备方法，包括以下步骤:1)钽壳预处理:将钽壳打磨、抛光和清洗；备用；2)可旋转悬挂电极的制备:采用中空石墨电极作为阳极，中空石墨电极的壁上设有多个通孔；3)电沉积工艺:以酸性氯化钌胶体水溶液为电沉积液，将所述的中空石墨电极和钽壳分别作为阳极和阴极放入所述的电沉积液中在钽壳内壁沉积RuO2薄膜；4)薄膜的热处理。该方法制备的RuO2薄膜可作为电容器的阴极材料以减少阴极材料的数量，能显著减少电容器的体积，提高电容器的体积能量密度，从而使高能电容器小型化成为可能。
　　知识产权情况:
　　专利号:200910043327.6
　　合作方式:面议。
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