一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法

　　成果名称:一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法
　　成果拥有单位:中南大学
　　成果简介:
　　本发明公开了一种金刚石/W-C梯度结构复合涂层及其制备方法。该复合涂层的特征在于WC-Co硬质合金上，形成以W-C梯度结构的过渡层和以金刚石涂层为耐磨涂层的复合涂层。其制备方法是，以硬质合金为试样，在Murakami试剂中浸蚀表层WC形成富钴层，然后以纯钨作为靶材，氩气和含碳气体作为反应气体，采用反应溅射方法，通过调节含碳活性气体在反应气氛中的浓度制备不同结构的W-C梯度结构作为过渡层，以化学气相沉积技术制备金刚石耐磨涂层。本发明既解决膜/基结合强度的问题，又保证金刚石薄膜表面光洁度。
　　知识产权情况:
　　专利号:200910042740.0
　　合作方式:面议。
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