一种用于制备超级电容器Ruo2电极材料的电沉积工艺

　　成果名称:一种用于制备超级电容器Ruo2电极材料的电沉积工艺
　　成果拥有单位:中南大学
　　成果简介:
　　一种用于制备超级电容器RuO2电极材料的直流-示差脉冲组合电沉积技术，采用纯度大于99.95％的金属钽箔作为基片，配置RuCl3·3H2O、SnCl2和NaNO3的混合溶液，浓度分别为1~5mmol/L、0.2~1mmol/L和10~200mmol/L，经充分搅拌、静置。以石墨做阳极，金属钽片为阴极，先用1~3mA/cm2直流电流沉积0.5~1h，再采用示差脉冲电流沉积沉积2~3h，电压脉冲宽度为1~10sec，脉冲周期为2~20sec，振幅为0.01~0.02mA/cm2，每点电压增益为0.005~0.01mA/cm2，其终止电流密度为5~8mA/cm2。制备RuCl3·3H2O薄膜前驱体，薄膜自然凉干后经过200~500℃处理，升温速率为10℃/s，保温时间为2-3h。本发明首次提出采用直流-示差脉冲组合电沉积技术制备RuO2薄膜，工艺简单，操作简便，具有一定的工业价值。用CHI660C电化学测试仪对薄膜材料的电化学性能进行测试，附着力的测试采用GB5210-82拉开法，测定比电容达720F/g，附着力达11.3MPa。
　　知识产权情况:
　　专利号:200910043146.3
　　合作方式:面议。
　　联系方式:
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