一种切削不锈钢用的物理气相沉积纳米多层涂层及其制备方法

　　成果名称:一种切削不锈钢用的物理气相沉积纳米多层涂层及其制备方法
　　成果拥有单位:中南大学
　　成果简介:
　　本发明公开了一种切削不锈钢用的PVD纳米多层涂层及其制备方法，具体制作工艺如下:(A)将硬质合金基体做表面清洁处理；(B)接着在真空条件下，采用多靶磁控溅射方法在旋转运动的硬质合金基体上交替沉积以TiN/(Tix，Al1-x)N/(Tiy，Al1-y)N/(Tix，Al1-x)N为调制周期的纳米多层涂层，采用Ar2为溅射气体，Ar的流量为180~300cm3/s，Ar的分压为1.7~9.0′10-1Pa，反应气体为N2，并通过控制N2的分压来控制总压。本发明将具有优良高温抗氧化性能的高Al含量TiAlN引入到多层涂层材料体系中，提高了涂层的高温抗氧化性能和硬度，通过显微结构优化设计，改善了涂层的韧性，使该种涂层在具有高温抗氧化性能的同时，还获得了优异的力学性能。本发明所制备的纳米多层涂层在不锈钢切削加工中具有很大的应用价值。
　　知识产权情况:
　　专利号:200710036185.1
　　合作方式:面议。
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